商丘市VOC廢氣治理專用環保設備低溫等離子凈化器工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發去。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

1：微波激發區

廢氣異味凈化設備

    本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，極大的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。

低溫等離子體去除污染物的機理：

    等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

    (1) 電場＋電子→高能電子

    (2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

    (3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

    (4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

    從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

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