低溫等離子體去除污染物的機理： (1) 電場＋電子→高能電子 (2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團 (3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱 (4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱 從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。